Standardization & Equipment

  • 2024.3.8

    サンプルホルダーの図面をアップデートしました。3次元CADファイルはこちら。(stp ,jpg, pdf)。

  • 2022.3.19

    合成・分析・計測モジュールの通信プロトコルを公開しました。(株式会社テクトス協力)

  • 2022.3.3

    3Dプリンタでサンプルホルダを印刷できるstlファイルを公開しました。stlファイルのダウンロードはこちら

サンプルホルダー

サンプルホルダーの3次元CADファイルはこちら。(stp ,jpg, pdf)。
図面や通信プロトコルの標準化に関する詳細については、hitosugi -at- g.ecc.u-tokyo.ac.jp までお問合せください。

モジュール-クラスターチャンバー間の接続形式
サンプルホルダー(NEW!)

図面類

BJ1702-001E キバンホルダークミズ-モデル
BJ1702-500A10 キバンホルダー-モデル
BJ1702-500_□10キバンホルダー

ダウンロードしてviewerソフトで御覧ください

BJ1702-501A マスクホルダー-モデル
BJ1702-502 マスク-モデル
BJ1702-503 均熱板-モデル
BJ1702-504 ホールバーマスク-モデル
BJ1702-505 下地膜ﾏｽｸ-モデル
BJ1702-506 ピン1-モデル
BJ1702-507A ピン2-モデル
BJ1702-508 ホルダーウケ-モデル
BJ1702-509 サンプルフォーク-モデル

装置など

電気炉
　電気炉

炉床昇降式電気炉 丸祥電器 SUPER BOY